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在实际运作过程中,为了追求机台的高利用率,当某机台闲置时,管理者将通过投料来满足利用率,因此*造成过早投料的情形;或者为了追求机台的利用率高,则必须相对的投入大量的在制品,10万级净化车间标准,但是,过多的WIP也将导致生产周期延长,10万级净化车间要求,资金成本的过早投入以及良率的下降。此时,管理者将因为WIP及周期时间升高而被要求降低WIP及周期时间。有时,为了避免机台故障、重加工、维修保养等对机台的影响,管理者往往也以增加在制品来保护系统,这似乎意味着可以达到机台的高利用率,殊不知这反而使系统处于较端不稳定的状态,一旦设备发生故障,当初源源不断的供料将造成该机台WIP量的急剧增高[1]。简言之,投料控制对晶圆制造车间具有重要的现实意义。
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(1)在静态条件下洁净室(区)监测的悬浮粒子数、浮游菌数或沉降菌数必须符合规定。测试方法应符合现行国家标准《工业洁净室(区)悬浮粒子的测试方法》GB/T16292、《工业洁净室(区)浮游菌的测试方法》GB/T16293和《工业洁净室(区)沉降菌的测试方法》GB/T16294的有关规定;
(2)空气洁净度100级的洁净室(区)应对大于等于5μm尘粒的计数多次采样,当大于等于5μm尘粒多次出现时,陕西净化车间,可认为该测试数值是可靠的。
(3)洁净室(区)的温度和湿度,应符合下列规定:
生产工艺对温度和湿度无特殊要求时,洁净室(区)温度应为18~26℃,相对湿度应为45%~65%
(4)不同空气洁净度等级的洁净室(区)之间以及洁净室(区)与非洁净室(区)之间的空气静压差不应小于5Pa,洁净室(区)与室外大气的静压差不应小于10Pa。
(5)洁净室(区)应根据生产要求提供照度,并应符合下列规定:
1)主要工作室一般照明的照度值宜为300lx。
2)辅助工作室、走廊、气闸室、人员净化和物料净化用室的照度值不宜低于150lx。
3)对照度有特殊要求的生产部位可设置局部照明。
(6)非单向流洁净室(区)的噪声级(空态)不应大于60dB(A),单向流和混合流洁净室(区)的噪声级(空态)不应大于65dB(A)。
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