*二节 洁净室正压控制
*5.2.1条洁净室必须维持一定的正压。不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的静压差,应不小于4.9Pa,排烟洁净室级别,洁净区与室外的静压差,应不小于9.8Pa。
*5.2.2条洁净室维持不同的正压值所需的正压风量,宜按下式计算:
Q=q1·Σ(q·L) (5.2.2)
式中:Q--维持洁净室正压值所需的正压风量(米3/时);
a--根据围扩结构气密性确定的安全系数,可取1.1~1.2;
q--当洁净室为某一正压值时,其围护结构单位长度缝隙的渗漏风量(米3/时·米);
L--围扩结构的缝隙长度(米)。
*5.2.5条非连续运行的洁净室,可根据生产工艺要求设置值班风机,并应对新风进行处理。